Heteroepitaxial Growth of Diamond on Si Substrates via 3C-SiC buffer layer by Antenna Edge Microwave Plasma CVD for Power Electronics Application

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Heteroepitaxial Growth of Diamond on Si Substrates via 3C-SiC buffer layer by Antenna Edge Microwave Plasma CVD for Power Electronics Application

著者

和文:	矢板潤也, 岩崎孝之, M. Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	J. Yaita, T. Iwasaki, M. Natal, S. E. Saddow, M. Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Third International Education Forum on Environment and Energy Science

開催地

和文:
英文:	Perth