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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Monolithic integration of passive RF components by MEMS 
著者
和文: 山根 大輔, 年吉 洋.  
英文: Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年4月25日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE 2011 International Symposium on VLSI Design, Automation and Test (VLSI-DAT) 
開催地
和文: 
英文:Hsinchu 

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