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論文・著書情報
タイトル
和文:
SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器
英文:
著者
和文:
山根大輔
,
Winston Sun
,
川崎繁男
,
藤田博之
,
年吉 洋
.
英文:
Daisuke Yamane
,
Winston Sun
,
Shigeo Kawasaki
,
Hiroyuki Fujita
,
Hiroshi Toshiyoshi
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
出版年月
2011年9月26日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
開催地
和文:
東京都
英文:
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