Mechanical characterization of segment-structured hydrogen-free a-C films fabricated by filtered cathodic vacuum arc method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical characterization of segment-structured hydrogen-free a-C films fabricated by filtered cathodic vacuum arc method

著者

和文:	近藤翔太, Kamis Shahira Liza, 大竹尚登, 赤坂大樹, 松尾誠, 岩本喜直.
英文:	Shouta Kondou, Shahira Liza, Naoto Ohtake, Hiroki Akasaka, Makoto Matsuo, Yoshinao Iwamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Surface&Coating Technology

巻, 号, ページ

Vol. 278 pp. 71-79

出版年月

2015年7月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI