Synthesis of graphene-based conductive thin films by plasma-enhanced chemical vapor deposition in a CO/H2 microwave discharge system

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of graphene-based conductive thin films by plasma-enhanced chemical vapor deposition in a CO/H2 microwave discharge system

著者

和文:	姉川洋平, 森伸介, 鈴木正昭.
英文:	Youhei Anekawa, Shinsuke Mori, Masaaki Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of 21th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)

巻, 号, ページ

ID392

出版年月

2013年8月2日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	21th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC21)

開催地

和文:
英文:	Cairns