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論文・著書情報
タイトル
和文:
英文:
A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology
著者
和文:
山根 大輔
,
小西 敏文
,
年吉 洋
,
益 一哉
,
町田 克之
.
英文:
Daisuke Yamane
,
Toshifumi Konishi
,
Hiroshi Toshiyoshi
,
Kazuya Masu
,
Katsuyuki Machida
.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
巻, 号, ページ
pp. 148-149
出版年月
2016年2月23日
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
英文:
IEEE Inertial Sensors 2016
開催地
和文:
英文:
Laguna Beach, California
公式リンク
http://ieee-inertial.org/
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.