面基板上の三次元マイクロパターニング及び，円柱形ポリマースタンプ製作への応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	面基板上の三次元マイクロパターニング及び，円柱形ポリマースタンプ製作への応用
英文:	Fabrication of 3D micro patterns on concave substrate and its application for the fabrication of cylindrical polymer stamps

著者

和文:	朴鍾淏, 高間信行, 藤田博之, 金範埈.
英文:	Jongho Park, Nobuyuki Takama, Hiroyuki Fujita, Beomjoon Kim.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
英文:	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines, sec.E

巻, 号, ページ

vol. 132 no. 9 pp. 303–308

出版年月

2012年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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