Characterization of double cell system with halogen and LED illumination for fabrication of porous silicon substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of double cell system with halogen and LED illumination for fabrication of porous silicon substrates

著者

和文:	朴鍾淏, 栁田保子, 初澤毅.
英文:	Jongho Park, Yasuko YANAGIDA, TAKESHI HATSUZAWA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年11月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 16th International Conference on Precision Engineering

開催地

和文:
英文:	Hamamatsu