Effect of High Plasma Density on Heteroepitaxial Diamond Nucleation on 3C-SiC/Si Substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of High Plasma Density on Heteroepitaxial Diamond Nucleation on 3C-SiC/Si Substrates

著者

和文:	矢板潤也, 岩崎孝之, Meralys R. Natal, Stephen E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	J. Yaita, T. Iwasaki, Meralys R. Natal, Stephen E. Saddow, M. Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年12月3日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:	2015 MRS Fall Meeting & Exhibit

開催地

和文:
英文:	Boston