Heteroepitaxial Growth of Diamond on 3C-SiC/Si Substrates by Antenna-Edge Microwave Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Heteroepitaxial Growth of Diamond on 3C-SiC/Si Substrates by Antenna-Edge Microwave Plasma CVD

著者

和文:	須藤建瑠, 矢板潤也, 岩崎孝之, M.Natal, S.E.Saddow, 波多野睦子.
英文:	T.Suto, J.Yaita, T.Iwasaki, M.Natal, S.E.Saddow, M.Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SSDM2015

開催地

和文:
英文:	Sapporo