Fabrication of low resistivity Nb-doped TiO2 transparent conductive polycrystalline films on glass by reactive sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:	Fabrication of low resistivity Nb-doped TiO2 transparent conductive polycrystalline films on glass by reactive sputtering
英文:	Fabrication of low resistivity Nb-doped TiO2 transparent conductive polycrystalline films on glass by reactive sputtering

著者

和文:	N YAMADA, T HITOSUGI, NLH HOANG, Y FURUBAYASHI, Y HIROSE, T SHIMADA, T HASEGAWA.
英文:	N YAMADA, T HITOSUGI, NLH HOANG, Y FURUBAYASHI, Y HIROSE, T SHIMADA, T HASEGAWA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
英文:	JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS

巻, 号, ページ

Vol. 46 No. 8A pp. 5275-5277

出版年月

2007年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI