Effects of thermal annealing on elimination of deep defects in amorphous In–Ga–Zn–O thin-film transistors

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of thermal annealing on elimination of deep defects in amorphous In–Ga–Zn–O thin-film transistors

著者

和文:	Haochun Tang, 井手啓介, 平松秀典, 上田茂典, 大橋直樹, 雲見日出也, 細野秀雄, 神谷利夫.
英文:	Haochun Tang, Keisuke Ide, Hidenori Hiramatsu, Shigenori Ueda, Naoki Ohashi, Hideya Kumomi, Hideo Hosono, Toshio Kamiya.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 614 73-78

出版年月

2016年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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