Optimization of a-Si (i) Passivation Layer Fabricated by Facing Target Sputtering (FTS) Method

論文・著書情報

タイトル

和文:	Optimization of a-Si (i) Passivation Layer Fabricated by Facing Target Sputtering (FTS) Method
英文:

著者

和文:	Akira Faris, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.
英文:	Bin Mohd Zulkifly Faris Akira, Kazuyoshi Nakada, Shinsuke Miyajima.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

15p-P13-10

出版年月

2016年9月13日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第77回応用物理学会秋季学術講演会
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開催地

和文:	新潟県新潟市
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