エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜における構造及び光学特性へ

論文・著書情報

タイトル

和文:	エキシマレーザー照射による固相結晶化Ga₂O₃薄膜における構造及び光学特性へ
英文:	Effect of excimer laser irradiation condition on solid phase crystallization, structure and optical property of Ga₂O₃ thin films

著者

和文:	内田啓貴, 塩尻大士, 福田大二, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Hiroki Uchida, daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集
英文:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2015 Extended Abstracts

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月1日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会
英文:	The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
英文:	The 76th JSAP Autumn Meeting, 2016

開催地

和文:	愛知県名古屋市
英文:	Nagoya City

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