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論文・著書情報


タイトル
和文:熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写 
英文:0.3 nm-high atomic-step patterning onto large PMMA surface by thermal nanoimprint 
著者
和文: 譚ゴオン, 井上直哉, 船迫友之, 三田正弘, 奥田 徳路, 森 潤一, 小山浩司, 中川勝, 松田 晃史, 吉本 護.  
英文: Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第61回 応用物理学会 春季学術講演会 講演予稿集 
英文:The 61st JSAP Spring Meeting, 2014 Extended Abstracts 
巻, 号, ページ        
出版年月 2014年3月1日 
出版者
和文:公益社団法人 応用物理学会 
英文:The Japan Society of Applied Physics 
会議名称
和文:第61回 応用物理学会 春季学術講演会 
英文:The 61st JSAP Spring Meeting, 2014 
開催地
和文:神奈川県相模原市 
英文:Sagamihara City 
公式リンク http://meeting.jsap.or.jp/archive/jsap2014a/index.html
 

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