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論文・著書情報
タイトル
和文:
熱ナノインプリント法によるPMMAポリマー表面への0.3 nm原子ステップの大面積転写
英文:
0.3 nm-high atomic-step patterning onto large PMMA surface by thermal nanoimprint
著者
和文:
譚ゴオン
,
井上直哉
,
船迫友之
,
三田正弘
,
奥田 徳路
,
森 潤一
,
小山浩司
,
中川勝
,
松田 晃史
,
吉本 護
.
英文:
Geng Tan
,
Naoya Inoue
,
Tomoyuki Funabasama
,
Masahiro Mita
,
Norimichi Okuda
,
Junichi Mori
,
Koji Koyama
,
Masaru Nakagawa
,
Akifumi Matsuda
,
MAMORU YOSHIMOTO
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
第61回 応用物理学会 春季学術講演会 講演予稿集
英文:
The 61st JSAP Spring Meeting, 2014 Extended Abstracts
巻, 号, ページ
出版年月
2014年3月1日
出版者
和文:
公益社団法人 応用物理学会
英文:
The Japan Society of Applied Physics
会議名称
和文:
第61回 応用物理学会 春季学術講演会
英文:
The 61st JSAP Spring Meeting, 2014
開催地
和文:
神奈川県相模原市
英文:
Sagamihara City
公式リンク
http://meeting.jsap.or.jp/archive/jsap2014a/index.html
©2007
Institute of Science Tokyo All rights reserved.