Room-temperature laser annealing for solid-phase epitaxial crystallization of β-Ga2O3 thin films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Room-temperature laser annealing for solid-phase epitaxial crystallization of β-Ga₂O₃ thin films

著者

和文:	塩尻大士, 福田大二, 山内涼輔, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Ryosuke Yamauchi, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Physics Express

巻, 号, ページ

Vol. 9 105502

出版年月

2016年9月23日

出版者

和文:
英文:	IOPscience

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

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DOI