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論文・著書情報


タイトル
和文:“TiO2系透明導電膜のスパッタ成膜技術と低抵抗化” 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御 
英文: 
著者
和文: 一杉太郎, 山田直臣.  
英文: Taro Hitosugi, 山田直臣.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 358-366
出版年月 2013年 
出版者
和文:技術情報協会 
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会議名称
和文: 
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開催地
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