KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	KrFエキシマレーザーアニールによるβ-Ga2O3エピタキシャル薄膜の室温作製と光学特性評価
英文:

著者

和文:	塩尻大士, 福田大二, 内田啓貴, 髙野詩織, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	塩尻大士, 福田大二, 内田啓貴, 髙野詩織, 土嶺信男, 小山浩司, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, MAMORU YOSHIMOTO.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月13日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文:

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.