Reactive Sputtering Process and Properties of Ba(ZrxTi1-x)O3 Films for High Frequency Applications

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Reactive Sputtering Process and Properties of Ba(ZrxTi1-x)O3 Films for High Frequency Applications

著者

和文:	Jinwoong KIM, Hiromi SHIMA, T. YAMAMOTO, 安井伸太郎, 舟窪浩, Tomoaki YAMADA, 西田謙.
英文:	Jinwoong KIM, Hiromi SHIMA, T. YAMAMOTO, Shintaro YASUI, Hiroshi FUNAKUBO, Tomoaki YAMADA, Ken NISHIDA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年5月24日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ISAF-ISIF-PFM 2015

開催地

和文:
英文: