Vacuum annealing and passivation of Hf<sub>2</sub> FET for mitigation of atmospheric degradation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vacuum annealing and passivation of Hf₂ FET for mitigation of atmospheric degradation

著者

和文:	UPADHYAYAVIKRANT, 金澤徹, 宮本恭幸.
英文:	Vikrant Upadhyaya, Toru Kanazawa, YASUYUKI MIYAMOTO.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

A5-7 pp. 231-235

出版年月

2016年7月5日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2016 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD2016)

開催地

和文:
英文:	Hakodate