DRIEによる高アスペクト比三角柱－スリット形電極対(TPSE)の製作に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	DRIEによる高アスペクト比三角柱－スリット形電極対(TPSE)の製作に関する研究
英文:	Study on Fabrication of High Aspect Ratio TPSE by using DRIE

著者

和文:	清水美咲, 西岡國生, 松谷晃宏, 吉田和弘, 金俊完.
英文:	misaki shimizu, Kunio Nishioka, Akihiro Matsutani, KAZUHIRO YOSHIDA, Joon-wan KIM.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	山梨講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 160-3 p. 161-162

出版年月

2016年10月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	山梨講演会2016
英文:	Yamanashi District Conference

開催地

和文:	山梨県甲府市
英文:

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