積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討

權田 惇晟; 高安 基大; 山根 大輔; 小西 敏文; 伊藤 浩之; 道正 志郎; 石原 昇; 町田 克之; 益 一哉

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術によるMEMS加速度センサを用いた慣性センサモジュールの検討
英文:	A Study of Inertial Sensor Module with MEMS Accelerometers by Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	權田惇晟, 高安基大, 山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Toshiaki Gonda, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

p. 25pm4-PM-006

出版年月

2016年10月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	集積化MEMSシンポジウム
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開催地

和文:	長崎県
英文:

公式リンク

http://www.sensorsymposium.org/index_j.html

アブストラクト

小型高感度慣性センサの試作と評価を行った。モジュールは高感度MEMS加速度センサと市販の静電容量-ディジタル変換ICを組み合わせている。MEMSデバイスは高感度化を実現するために金めっき積層メタルプロセスを用いて製作されている。ICは適切な分解能を考慮し選択している。評価を行った結果、慣性センサモジュールとして、102fF/Gの感度特性を得た。

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