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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術によるMEMS加速度センサのばね定数設計方法 
英文: 
著者
和文: 佐布 晃昭, 小西 敏文, 山根大輔, 年吉 洋, 曽根 正人, 益 一哉, 町田 克之.  
英文: Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         p. 25pm4-PM-008
出版年月 2016年10月24日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第8回集積化MEMSシンポジウム 
英文: 
開催地
和文:長崎県 
英文: 
公式リンク http://www.sensorsymposium.org/index_j.html
 

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