積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術で作製したMEMS慣性センサのモジュール化の検討
英文:	A study of module using MEMS accelerometer by multi-layer metal technology

著者

和文:	高安基大, 權田惇晟, 山根大輔, 伊藤浩之, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Toshiaki Gonda, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年3月14日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第64回応用物理学会春季学術講演会
英文:	The 64th JSAP Spring Meeting, 2017

開催地

和文:	神奈川県
英文: