圧電素子によるマイクロフォンの特性シミュレーションモデル

佐藤 裕樹; 瀬志本 明; 山崎 王義; 藤原 宗; 益 一哉; 石原 昇

論文・著書情報

タイトル

和文:	圧電素子によるマイクロフォンの特性シミュレーションモデル
英文:

著者

和文:	佐藤裕樹, 瀬志本明, 山崎王義, 藤原宗, 益一哉, 石原昇.
英文:	Hiroki Satoh, Akira Seshimoto, Kimiyoshi Yamasaki, Hajime Fujiwara, Kazuya Masu, Noboru Ishihara.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成29年電気学会全国大会
英文:

巻, 号, ページ

p. 3－121

出版年月

2017年3月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成29年電気学会全国大会
英文:

開催地

和文:	富山
英文:

公式リンク

http://www.iee.jp/?page_id=4347

アブストラクト

スマートフォンに代表されるモバイルデバイスには多数のMicro Electro Mechanical System(MEMS)マイクロフォンが搭載されている。MEMS マイクロフォンは音響-電気変換を担うトランスデューサーと、電気信号を増幅するアンプ部で構成される。従来のトランスデューサーは静電容量型が一般的であるが、近年では防塵、防水性を備えた圧電型が発表された。圧電型トランスデューサーの動作原理は、圧電膜に音響信号による応力が掛かり、圧電膜内で分極が発生し、電荷が生成される、ことである。この物理現象を等価回路で表現できれば、性能の根拠、雑音性能を直感的に理解し易くなり、高性能、低雑音な圧電型トランスデューサーを設計できるようになる。また、圧電型トランスデューサーとマイクアンプのマッチングを考慮した高性能、低雑音なMEMS マイクロフォンが設計できるようになる。そこで、物理現象に則した圧電型トランスデューサーの等価モデルを提案する。

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