Vacancy-type defects induced by grinding of Si wafers studied by monoenergetic

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vacancy-type defects induced by grinding of Si wafers studied by monoenergetic

著者

和文:	上殿明良, 水島賢子, YOUNGSUK KIM, 中村友二, 大場隆之, Nakaaki Yoshihara, 大島永康, 鈴木良一.
英文:	Akira Uedono, Yoriko Mizushima, Youngsuk Kim, Tomoji Nakamura, Takayuki Ohba, Nakaaki Yoshihara, Nagayasu Oshima, Ryoichi Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 116 134501

出版年月

2014年

出版者

和文:
英文:	AIP

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: