Sputter Deposition of ScAlN Thin Films Using a Sc-Al Alloy Target

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Sputter Deposition of ScAlN Thin Films Using a Sc-Al Alloy Target

著者

和文:	M Sumisaka, K Yamazaki, 藤井知, G Tang, T Han, Y Suzuki, S Otomo, T Omori, Ken-Ya Hashimoto.
英文:	M Sumisaka, K Yamazaki, Satoshi Fujii, G Tang, T Han, Y Suzuki, S Otomo, T Omori, Ken-Ya Hashimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

vol. 54 pp. 07HD06-1〜04

出版年月

2015年7月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: