Durability of surface acoustic wave motor for high speed and precision positioning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Durability of surface acoustic wave motor for high speed and precision positioning

著者

和文:	Y. Chiba, H. Usuba, K. Adachi, 黒澤実.
英文:	Y. Chiba, H. Usuba, K. Adachi, M. Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 17th Int. Conf, on Wear on Materials

巻, 号, ページ

出版年月

2009年4月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	17th Int. Conf, on Wear on Materials,

開催地

和文:
英文:	Las. Vegas