Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanosecond pulse laser scribing using Bessel beam for single shot removal of transparent conductive oxide thin film

著者

和文:	Kim Byunggi, 飯田亮一, Doan Doku, 伏信一慶.
英文:	B. Kim, R. Iida, D.H. Doan, K. Fushinobu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	International Journal of Heat and Mass Transfer

巻, 号, ページ

vol. 107 pp. 829-835

出版年月

2017年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI