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論文・著書情報


タイトル
和文:表面活性化接合に向けたAr-FAB照射によるGaInAs/InPウェハのPL特性への影響評価 
英文: 
著者
和文: 永坂 久美, 鈴木 純一, 雨宮 智宏, 西山 伸彦, 荒井 滋久.  
英文: Kumi Nagasaka, Junichi Suzuki, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, SHIGEHISA ARAI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 7a-A504-11   
出版年月 2017年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:第78回応用物理学会秋季学術講演会 
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開催地
和文: 
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