積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	積層メタル技術を用いた高感度MEMS傾斜計の検討
英文:	A Study on a High-Resolution MEMS Tilt Sensor Fabricated by Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	辻一平, 高安基大, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 道正志郎, 石原昇, 町田克之, 益一哉.
英文:	Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
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巻, 号, ページ

出版年月

2017年7月26日

出版者

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会議名称

和文:	第8回集積化MEMS技術研究ワークショップ
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開催地

和文:	香川県
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