Fabrication of SAW resonators on single-crystal diamonds using Minimal-Fab process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of SAW resonators on single-crystal diamonds using Minimal-Fab process

著者

和文:	藤井知, 根川雅也, 亀濱博紀, 遠江春樹, 柴康則.
英文:	Satoshi Fujii, Masaya Negawa, Hiroki Kamehama, Haruki Toonoe, Yasunori Shiba.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2017年9月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE International Ultrasonic Symposium

開催地

和文:	ワシントンDC
英文:	Washington D.C.