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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術によるMEMS加速度センサの傾斜時感度特性の検討 
英文:Inclining Angle Sensitivity Characteristics of MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-Layer Metal Technology 
著者
和文: 古賀 達也, 辻 一平, 高安 基大, 伊藤 浩之, 山根 大輔, 道正 志郎, 小西 敏文, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Tatsuya Koga, Ippei Tsuji, Motohiro Takayasu, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Shiro Dosho, Toshifumi Konishi, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2017年10月31日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第9回 集積化MEMSシンポジウム 
英文:The 9th Symposium on Integrated MEMS Technology 
開催地
和文:広島県 
英文: 
公式リンク http://annex.jsap.or.jp/MEMS/
 

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