カーボンオニオンを用いた超精密研磨の研磨速度向上

齋藤 雄介; 青野 祐子; 平田 敦

論文・著書情報

タイトル

和文:	カーボンオニオンを用いた超精密研磨の研磨速度向上
英文:

著者

和文:	齋藤雄介, 青野祐子, 平田敦.
英文:	Yuko Aono, Yuko Aono, ATSUSHI HIRATA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2017年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2017 No. 0 pp. 637-638

出版年月

2017年3月14日

出版者

和文:	公益社団法人精密工学会
英文:

会議名称

和文:	2017年度精密工学会春季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	横浜
英文:

アブストラクト

カーボンオニオンを用いた最大高さサブナノメートルの超精密研磨において研磨速度の向上を検討した．砥粒の突き出し量や切り込み深さを変化させるために，研磨パッドの材質や砥粒の粒径，研磨圧力を変化させて研磨を行った結果，硬質のスウェードパッドで小さな粒径の砥粒を用いることで到達面粗さを維持しつつ研磨速度が向上した．また，研磨圧力によらず超精密研磨が達成されたが，研磨速度に大きな差はみられなかった．

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