A 0.18-?m CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A 0.18-?m CMOS time-domain capacitive-sensor interface for sub-1mG MEMS accelerometers

著者

和文:	高安基大, 道正志郎, 伊藤浩之, 山根大輔, 小西敏文, 町田克之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Motohiro Takayasu, Shiro Dosho, Hiroyuki Ito, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEICE Electronics Express

巻, 号, ページ

Vol. 15 no. 2 p. 20171227

出版年月

2018年1月11日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI