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論文・著書情報


タイトル
和文:単一Au錘3軸差動MEMS加速度センサの検討 
英文:A Tri-axis Differential MEMS Accelerometer with a Single Au Proof Mass 
著者
和文: 新島 宏文, 乙部 翔太, 高安 基大, 山根 大輔, 伊藤 浩之, 佐布 晃昭, 小西 敏文, 道正 志郎, 飯田 慎一, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Hirofumi Niijima, Shouta Otobe, Motohiro Takayasu, Daisuke Yamane, Hiroyuki Ito, Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Shiro Dosho, Shinichi Iida, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
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巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月14日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文:平成30年電気学会全国大会 
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開催地
和文:福岡県 
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