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論文・著書情報


タイトル
和文:積層メタル技術を用いたMEMS慣性センサの封止環境における温度依存性 
英文: 
著者
和文: 小西 敏文, 山根 大輔, 佐布 晃昭, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉, 飯田 慎一.  
英文: Toshifumi Konishi, Daisuke Yamane, Teruaki Safu, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Shinichi Iida.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月17日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第64回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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