Waveguide-mode interference lithography technique for high contrast subwavelength structures in the visible region

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Waveguide-mode interference lithography technique for high contrast subwavelength structures in the visible region

著者

和文:	K. Kusaka, H. Kurosawa, S. Ohno, Y. Sakaki, K. Nakayama, 森竹勇斗, T. Ishihara.
英文:	K. Kusaka, H. Kurosawa, S. Ohno, Y. Sakaki, K. Nakayama, Y. Moritake, T. Ishihara.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Optics Express

巻, 号, ページ

Vol. 22 No. 15 Page 18748-18756

出版年月

2014年7月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
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