The effects of negative bias voltage on the structural and mechanical properties of amorphous carbon film deposited on the micro-trench patterns

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The effects of negative bias voltage on the structural and mechanical properties of amorphous carbon film deposited on the micro-trench patterns

著者

和文:	平田祐樹, 崔埈豪.
英文:	Yuki Hirata, Junho Choi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of Materials Today Asia 2014

巻, 号, ページ

出版年月

2014年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Materials Today Asia 2014

開催地

和文:
英文:	Kowloon