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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Temperature Characteristics of MEMS Inertial Sensor Fabricated by Gold Multi-Layer Metal Technology 
著者
和文: 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 鈴木 拓真, 陳 君怡, Chang Tso-Fu Mark, 伊藤 浩之, 道正 志郎, 石原 昇, 曽根 正人, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Takuma Suzuki, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Hiroyuki Ito, Shiro Dosho, Noboru Ishihara, Masato Sone, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. WM-II-f3243
出版年月 2018年4月21日 
出版者
和文: 
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会議名称
和文: 
英文:13th Annual IEEE International Conference on Nano-Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2018) 
開催地
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英文: 
公式リンク http://www.ieee-nems2018.org/index.jsp
 

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