MEMS VCSEL集積スローライト導波路ビームスキャナの作製

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS VCSEL集積スローライト導波路ビームスキャナの作製
英文:	Fabrication of slow-light beam scanner integrated with a MEMS VCSEL

著者

和文:	井上俊也, 旭利紘, 西村駿, 中濵正統, 松谷晃宏, 坂口孝浩, 小山二三夫.
英文:	Shunya Inoue, Toshihiro Asahi, Shun Nishimura, Masanori Nakahama, Akihiro Matsutani, Takahiro Sakaguchi, FUMIO KOYAMA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

18a-B203-7

出版年月

2018年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第65回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: