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論文・著書情報


タイトル
和文:スパッタリング法によるSr-Si膜の作製 
英文: 
著者
和文: 青山航大, 清水荘雄, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, 木村好里, 舟窪浩.  
英文: Kodai Aoyama, Takao Shimizu, 倉持豪人, 召田雅実, 秋池良, YOSHISATO KIMURA, HIROSHI FUNAKUBO.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年3月17日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第65回応用物理学会春季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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