In-situ bias current monitoring of nucleation for epitaxial diamonds on 3C-SiC/Si substrates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-situ bias current monitoring of nucleation for epitaxial diamonds on 3C-SiC/Si substrates

著者

和文:	矢板潤也, 須藤建瑠, M. Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子, 岩崎孝之.
英文:	J. Yaita, T.Suto, M. Natal, S. E. Saddow, M. Hatano, T. Iwasaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Diamond & Related Materials

巻, 号, ページ

Vol. 88 pp. 158-162

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI