Two-DOF MEMS Actuator Employing Microball-bearings and a Multi-pole Permanent Magnet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Two-DOF MEMS Actuator Employing Microball-bearings and a Multi-pole Permanent Magnet

著者

和文:	韓冬, 吾妻範栄, 進士忠彦, Kenichi SUZUKI.
英文:	Dong HAN, Noriei AZUMA, Tadahiko SHINSHI, Kenichi SUZUKI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of The 22nd International Conference on Mechatronics Technology

巻, 号, ページ

pp. ID 23

出版年月

2018年

出版者

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Mechatronics Technology

会議名称

和文:
英文:	The 22nd International Conference on Mechatronics Technology

開催地

和文:
英文:	Jeju island