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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A Sub-1mG Tri-Axis MEMS Accelerometer with Multiple Segmented Capacitance Detection Electrodes 
著者
和文: 乙部 翔太, 古賀 達也, 渥美 賢, 山根 大輔, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Shota Otobe, Tatsuya Koga, Ken Atsumi, Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shin-ichi Iida, Hiroyuki. Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2018年11月13日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:31st International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2018) 
開催地
和文: 
英文:Sapporo 

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