Synthesis of Parallelized Carbon Nanowalls by ECR Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Parallelized Carbon Nanowalls by ECR Plasma

著者

和文:	森伸介, 鈴木諒, 松村悠生, 姉川洋平.
英文:	Shinsuke Mori, Ryo Suzuki, Yusei Matsumura, Youhei Anekawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

巻, 号, ページ

TE1-4

出版年月

2018年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 7th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology

開催地

和文:
英文: