Nano-structural control of carbon-based thin films by PECVD and their surface modification

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nano-structural control of carbon-based thin films by PECVD and their surface modification

著者

和文:	森伸介.
英文:	Shinsuke Mori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 16th International Conference on Plasma Surface Engineering

巻, 号, ページ

KN2300

出版年月

2018年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	16th International Conference on Plasma Surface Engineering

開催地

和文:
英文: