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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A 3-D PARALLEL-PLATE MEMS ACCELEROMETER WITH A GOLD PROOF MASS 
著者
和文: 山根 大輔, 乙部 翔太, 渥美 賢, 古賀 達也, 小西 敏文, 佐布 晃昭, 飯田 慎一, 伊藤 浩之, 石原 昇, 町田 克之, 益 一哉.  
英文: Daisuke Yamane, Shota Otobe, Ken Atsumi, Tatsuya Koga, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Shinichi Iida, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 684-687
出版年月 2019年1月27日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:32nd Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019) 
開催地
和文: 
英文:Seoul 
公式リンク http://www.mems19.org/html/main.php
 

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