Individual Atomic Imaging of Multiple Dopant Sites in As-Doped Si Using Spectro-Photoelectron Holography

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Individual Atomic Imaging of Multiple Dopant Sites in As-Doped Si Using Spectro-Photoelectron Holography

著者

和文:	筒井一生, Tomohiro Matsushita, 名取鼓太郎, 室隆桂之, Yoshitada Morikawa, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, Kouichi Hayashi, Fumihiko Matsui, 木下豊彦.
英文:	Kazuo Tsutsui, Tomohiro Matsushita, Kotaro Natori, Takayuki Muro, Yoshitada Morikawa, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Hitoshi Wakabayashi, Kouichi Hayashi, Fumihiko Matsui, Toyohiko Kinoshita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nano Letters

巻, 号, ページ

Vol. 17 pp. 7533-7538

出版年月

2017年11月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文:

DOI

受賞情報

応用宇物理学会　シリコンテクノロジー分科会論文賞