Analyses of 3D Atomic Arrangements of Impurity Atoms Doped in Silicon by Spectro-Photoelectron Holography Technique

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Analyses of 3D Atomic Arrangements of Impurity Atoms Doped in Silicon by Spectro-Photoelectron Holography Technique

著者

和文:	筒井一生, Tomohiro Matsushita, 室隆桂之, Yoshitada Morikawa, 名取鼓太郎, 星井拓也, 角嶋邦之, 若林整, Kouichi Hayashi, Fumihiko Matsui, 木下豊彦.
英文:	Kazuo Tsutsui, Tomohiro Matsushita, Takayuki Muro, Yoshitada Morikawa, Kotaro Natori, Takuya Hoshii, Kuniyuki Kakushima, Hitoshi Wakabayashi, Kouichi Hayashi, Fumihiko Matsui, Toyohiko Kinoshita.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2018年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Intnational Workshop on Junction Technology (IWJT2018)

開催地

和文:
英文:	Shanghai